提高鎢在半導體製造中填孔能力的方法
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鎢是一種具有高傳導性的金屬元素，在半導體製造中，常被用作金屬層間的通孔（Via）和垂直接觸的接觸孔（Contact）的填充。基本上，積體電路是由數層材質不同的薄…
鎢是一種具有高傳導性的金屬元素，在半導體製造中，常被用作金屬層間的通孔（Via）和垂直接觸的接觸孔（Contact）的填充。基本上，積體電路是由數層材質不同的薄…
所謂硬質合金是以碳化鎢粉末為基體，以鈷粉作粘結劑經加壓、燒結而成。通常含碳化鎢94%，含鈷6%。由於其硬度很高，非常耐磨，有一定強度，適於高速切削。但韌性差，非…
