氧化鎢薄膜具有電致變色特性，因而可以用來生產智慧窗，最終應用於節能建築領域，發揮隔熱保溫、節能降耗、環保無污染的優勢，此外，其還可以防眩光、抗紫外線。據悉，WO3薄膜可以通過化學氣相沉積（CVD）法製備得到。
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化學氣相沉積包括等離子增強CVD以及氣相熱解法，反應源一般為六羰基鎢（W(CO)6）或WF6，此方法沉積速度快，且沉積成分可調。有專家以鎢絲為加熱電阻和蒸發源，在矽片基底上沉積WO3薄膜，並形成納米結構陣列，這種方法被稱為熱絲CVD法。
