WO3薄膜是一種被廣泛研究的無機電致變色材料，其光吸收變化是因離子和電子的雙注入/抽取引起，所以，由其制得的智慧窗的性能優越穩定。那麼，用來充當電致變色窗的電致變色層材料的三氧化鎢電致變色薄膜可以通過什麼方法製備得到呢？
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蒸鍍法。蒸鍍法實際上是早期實驗研究中製備電致變色薄膜的常用方法。通過電阻加熱、電子束加熱等方法，使氧化鎢粉末蒸發，從而沉積在基底上。可以使用惰性氣氛或是反應氣氛（如含氧氣或氫氣），常用基體為導電玻璃或ITO/PET。所製備薄膜的成分、結構以及性質主要取決於沉積參數。
