三氧化鎢薄膜可以用於組裝全固態靈巧窗，充當電致變色層。有專家對WO3薄膜的光學性能進行研究，其中，全固態電致變色窗著色態和漂白態的透射光譜曲線如下圖所示，工作電壓為±3.5V。
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專家表示，從圖中可以看出，靈巧窗對可見光透射率具有一定的調節能力，但漂白態時的透射率偏低，主要原因是最後一層ITO膜透射率不高。因為採用InSn合金靶直流磁控濺射沉積ITO膜時，為獲得高的透射率和電導率，通常要將沉積的ITO膜進行高溫熱處理。但，WO3和NiO膜經高溫熱處理後，電致變色性能會受損。因此，在全固態靈巧窗器件的製備中，最後一層ITO膜未經熱處理。此外，目前，有專家已經掌握了採用ITO陶瓷靶不需經退火處理製備ITO膜的技術，因此在採用此項新的製備ITO膜的技術後，有望製備出性能更優良的全固態靈巧窗器件。
