WO3薄膜是一種電致變色薄膜。據報導，有專家為了研究薄膜厚度對結構、電致變色性能的影響，使用純度為99.95%的金屬鎢作為靶材，在FTO透明導電玻璃（方塊電阻為～20Ω）基片上使用鍍膜機通過脈衝直流電源反應磁控濺射沉積三氧化鎢薄膜。
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其中，FTO導電玻璃為基片，使用清水吹洗表面灰塵後，使用洗潔精和醋酸清洗基片表面油脂，然後再用去離子水沖洗乾淨，最後用高壓乾燥氮氣把基片表面殘留水分吹淨。專家通過控制基片運動速率和在陰極下方來回運動次數，製備了50nm、100nm、150nm、200nm、250nm、300nm等不同厚度的氧化鎢薄膜。
