有專家對不同溫度下製備的摻鈦氧化鎢電致變色薄膜進行XRD分析。下圖為不同溫度下製備的摻Ti的WO3電致變色薄膜的XRD圖譜，與FTO玻璃基底XRD衍射峰（標為△）對比可以發現：
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隨著溫度的升高，在300℃，在2θ=23.96°、2θ=34.04°附近出現新的衍射峰（標為#），經過比對與JCPDF卡片41-0905相符合，對應立方晶系WO3的（100）和（110）晶面。溫度升至350℃時，特徵峰強度增強，薄膜的結晶程度增強。晶態WO3薄膜摻雜Ti元素後晶體結構發生變化，由單斜晶系轉變立方晶系。在衍射圖譜中沒有檢測到TiO2峰，說明少量Ti摻雜在薄膜中未形成獨立的TiO2，而Ti4+離子半徑（0.0605nm）與W6+離子半徑（0.060nm）相近，Ti原子替代部分W原子位置形成置換固溶體。
