貴金屬摻雜氧化鎢，如Pt摻雜氧化鎢、Pd摻雜氧化鎢以及Au摻雜氧化鎢等等，相較於無摻雜氧化鎢，其對NO2、CO、H2S、丙酮氣體等化工場所空氣污染的主要來源的靈敏度都有所提升。
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有專家採用直流濺射法在WO3中分別摻雜Pt、Pd及Au製備氣體感測器。他們經過對比測試，結果表明，Au摻雜WO3薄膜對NO2的靈敏度由無摻雜時的17x10-6提高到69x10-6，而Pd摻雜WO3薄膜對NO2的靈敏度由無摻雜時的17x10-6提高到24x10-6。其中，NO2的最大檢測靈敏度為200x10-6。也就是說，貴金屬摻雜WO3是一種高效的NO2氣敏材料，在高性能低功耗NO2氣敏感測器應用方面表現出巨大的潛力和良好的前景，可以從一定程度上減輕氮氧化物等大氣污染物對人類健康和環境造成的嚴重威脅。
