納米陶瓷粒用鎢酸銫可以利用固相反應製備得到。十幾年前，就已經有研究人員利用固相反應將含鎢酸銨和含Cs的金屬鹽為原料溶解進行熱處理，之後在H2和N2（體積：V(H2)/V(N2)=95/5）混合氣氛下於550℃熱處理1h，最後在N2氣氛於800℃再進行高溫處理即可制得到鎢酸銫材料。而且，在當時，鎢酸銫薄膜具有良好的近紅外遮蔽性能首次被提出。
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且說，固相反應在固體材料的高溫過程中是一個普遍的物理化學現象，廣義地講，凡是有固相參與的化學反應都可稱為固相反應。而高熱固相反應法是指固相反應的反應溫度一般高於600℃。而高溫固氣相反應法是一種較為傳統的粉體製備方法，通常在固相法基礎上通入一些還原性、惰性氣體來提高產物的性能。此類法一般存在效率低、粉末不夠細、易混入雜質等缺點，但也有著產量大、製備工藝簡單等優點，所以仍是一種較為常用方法。
